ITO制粉
第卷第l期昆明理工大學(xué)學(xué)報VolN0.11997年月JOURNALOFKUNMINGUNIVERSTYOFSCIENCEANDTECHNOLOGYFcb1997銦錫氧化物ITo靶材的應(yīng)用
ITO靶材生產(chǎn)工序包括:制粉,成形,燒結(jié),后加工,檢測等。對產(chǎn)品性能起決定作用并體現(xiàn)技術(shù)先進(jìn)性的是粉體制備、素坯成形和高溫?zé)Y(jié)3
隨著國內(nèi)制粉工藝的成熟,ITO靶材的燒結(jié)工藝也不斷成熟,制備的ITO靶材性能也不斷提高。目前ITO靶材的燒結(jié)技術(shù)主要有以下幾種。2.1常壓燒結(jié)法常壓燒結(jié)法[16]
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本發(fā)明涉及一種大尺寸ITO靶材的制備方法,屬于透明導(dǎo)電薄膜靶材的技術(shù)領(lǐng)域。該技術(shù)可通過傳統(tǒng)的擠出設(shè)備、軋制設(shè)備、燒結(jié)設(shè)備來制備大尺寸ITO靶材;其工藝
北京市東燕郊隧道局二處防疫站蔣政等人于 2001 年提出如下 ITO 制粉和靶材 制備工藝。 氧化銦錫粉末的制造工藝: 將金屬銦和金屬錫用硫酸、硝酸、鹽酸中的任一
不到壓實的材料. 如爆炸燒結(jié)永磁鐵Sm2Fe17N 制粉質(zhì)量仍是關(guān)重要的.采用爆炸壓實新工藝來成形 ITO 可以降低對制粉技術(shù)的要求, 從而找出粉末粒度、靶材相對密度
實驗濺射鍍膜機(jī),超凈車間等等。在韶關(guān)工廠建設(shè)了8000平方米ITO專用廠房,建成ITO靶材的生產(chǎn)線,包含ITO制粉、成型、燒結(jié) 、機(jī)加工、ITO 廢靶回收等完善的生產(chǎn)
銦錫氧化物(ITO)粉體及高性能ITO靶材的制備與研究本論文以熱等靜壓制備銦錫氧化物 與現(xiàn)有成形技術(shù)相比,爆炸成形工藝特別適用于管狀靶材成形,對制粉
采用爆炸壓實新工藝來成形 ITO 靶材, 可以降低對制粉 技術(shù)的要求, 從而找出粉末粒度、 靶材相對密度和靶材利用率三者之間存在的 優(yōu) 化關(guān) 系,
文章簡要介紹了ITO薄膜的特性和應(yīng)用,對ITO靶材的成形方法和燒結(jié)方法以及研究現(xiàn)狀進(jìn)行了闡述,探討了ITO靶材制備的發(fā)展趨勢。
11 ITO制粉, 研發(fā) 搬運、清洗、使用鹽酸時不帶好手套等勞保用品 嚴(yán)重 按要求佩戴好勞保用品 較少 嚴(yán)重 強酸腐蝕傷人 較少 五、各崗位習(xí)慣性違章 12 研發(fā) 高低溫煅燒粉
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