三氯氫硅專用硅粉生產(chǎn)工藝
三氯氫硅專用硅粉生產(chǎn)工藝,)z%B/hj(J)d節(jié)硅粉精制工藝 2.1硅粉的性質(zhì) 硅的密度為2.329kgcm3,沸點(diǎn)為2355℃,熔點(diǎn)為1480~1500℃,在三氯氫硅生產(chǎn)中其水分小于200ppm。有水易于形成鹽酸,鹽酸因含有游三氯氫硅生產(chǎn)工藝流程 三氯氫硅?產(chǎn)?藝流程 硅氫氯化法 該?法是?冶?級(jí)硅粉,作原料,與氯化氫?體反應(yīng)??墒?銅或鐵基催化劑。反應(yīng)在200800和0。053mpa下進(jìn)? 2Si
工藝專業(yè) 何惠民 吳燕平 董 群管道專業(yè) 胡愛平 劉麗娟 嚴(yán)進(jìn)生電氣專業(yè) 建軍 江 濤 史錫才電信專業(yè) 張建峰 劉 鵬 劉玉光自控專業(yè) 戴建平 劉文敏 鄭溪民設(shè)備專3、生產(chǎn)工藝流程簡圖: 四、主要技術(shù)指標(biāo) 硅粉轉(zhuǎn)化率: 95% 氯化氫利用率: 99% 加壓冷凝率: ≥95% 三氯氫硅收率: ≥98% 四氯化硅收率 冷凝產(chǎn)物組分: 其中:三氯氫硅含量:
三氯氫硅是多晶硅合成的重要原料,也是合成硅烷偶聯(lián)劑的主要中間體,其主要通過工業(yè)硅硅粉和氯化氫反應(yīng)合成。根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn) GB/T?工業(yè)三氯氫硅?相關(guān)產(chǎn)品技術(shù)要求,規(guī)定了三氯氣和氫氣在氯化氫合成爐內(nèi)通過燃燒反應(yīng)生成氯化氫,氯化氫氣體經(jīng)空冷、水冷、深冷和酸霧捕集脫水后進(jìn)人氯化氫緩沖罐,然后送三氯氫硅合成爐。硅粉經(jīng)過干燥后加入到三氯氫硅合
三氯氫硅專用硅粉生產(chǎn)工藝,三氯氫硅生產(chǎn)工藝晶體硅是灰色有光澤硬而脆的固體其結(jié)構(gòu)跟金剛石的結(jié)構(gòu)相似也是一種原子晶體硅的導(dǎo)電性能介于金屬和絕緣體之間單晶硅是良好的半導(dǎo)體可用來制作半導(dǎo)體器件如硅1、三氯氫硅合成生產(chǎn)工藝 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加熱一定的溫度,然后利用氮?dú)夂臀徊顗喝牍璺塾?jì)量罐,由硅粉給料機(jī)送入三氯氫硅沸騰爐,與通入的氯化氫氣體在一定的溫
三氯氫硅合成工藝三氯氫硅 合成系統(tǒng) 原料硅粉用硅粉吊車提升加料料斗的頂部,并將硅粉倒入硅粉干燥罐內(nèi)。硅粉干燥罐的裝料為每8小時(shí)一次,每次約1800kg,裝好后,通過硅粉干燥3、三氯氫硅生產(chǎn)工藝 本工藝采用硅氫氯化法生產(chǎn)三氯氫硅,氯化氫氣體、干燥硅粉在三氯氫硅合成爐內(nèi)進(jìn)行流態(tài)化反應(yīng),反應(yīng)氣體經(jīng)分離、除塵、冷卻后得到純度為85%
反應(yīng)傷害很大,因?yàn)镾i0化學(xué)鍵比SiCl化學(xué)鍵更穩(wěn)定,進(jìn)入系統(tǒng)的氧元素都會(huì)與硅合成硅膠或硅氧烷類物質(zhì),一方面在硅粉表面形成一層致密的氧化膜,影響反應(yīng)的正常進(jìn)行,使產(chǎn)物中三氯/ o" Z F" g* T# k( Z8 N1 F& T硅粉精制工藝 4 f, k) ?4 R, `( a7 ]# p 2.1硅粉的性質(zhì) 5 M z8 o7 `7 l 硅的密度為2.329kgcm3,沸點(diǎn)為2355℃,熔點(diǎn)為1480~1500℃,在三氯氫硅生
三氯氫硅生產(chǎn)工藝流程 三氯氫硅合成。將硅粉卸轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤,通過管道用氣體輸送硅粉倉,再加入硅粉干燥器,經(jīng)過圓盤給料機(jī)并計(jì)量后加入三氯氫硅合成爐。在三氯氫三氯氫硅合成。將硅粉卸轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤,通過管道用氣體輸送硅粉倉,再加入硅粉干燥器,經(jīng)過圓盤給料機(jī)并計(jì)量后加入三氯氫硅合成爐。在三氯氫硅合成爐內(nèi),溫度控制在80—310℃,硅粉
工藝存在著系統(tǒng)中含水量過大,粗產(chǎn)物回收率較低,尾氣量較高等問題。因此我們可以對(duì)氯化氫的水含量,沸騰爐溫度的控制,硅粉系統(tǒng)和除塵系統(tǒng)進(jìn)行一定整改和革新,提高三氯氫硅生產(chǎn)效率。6.我國目前制備多晶硅主要采用三氯氫硅氫還原法、硅烷熱解法和四氯化硅氫還原法。由于三氯氫硅氫還原法具有一定優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用。其簡化的工藝流程如下圖所示:粗硅粉(√(101)
三氯氫硅生產(chǎn)主要有3個(gè)工序:三氯氫硅合成、三氯氫硅精餾、尾氣處理。 1、三氯氫硅合成生產(chǎn)工藝 硅粉用人工加入硅粉干燥器,用蒸汽加熱一定的溫度,然后利用氮制備工藝硅粉蒸餾塔多晶硅反應(yīng)器 (中國石化集團(tuán)南京工程有限公司,江蘇南京211100摘要:從工藝流程、工藝特點(diǎn)、核心設(shè)備結(jié)構(gòu)等方面介紹了國內(nèi)兩種生產(chǎn)多晶硅所需
3袁麗娟,關(guān)納新三氯氫硅工藝概況及發(fā)展趨勢[J]氯堿工業(yè)2004年05期 4陳學(xué)記三氯氫硅制備工藝研究進(jìn)展[J]新材料產(chǎn)業(yè)2012年05期 【相似文獻(xiàn)】 中國期刊全文三氯氫硅生產(chǎn)工藝流程 三氯氫硅合成。將硅粉卸轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤,通過管道用氣體輸送硅粉倉,再加入硅粉干燥器,經(jīng)過圓盤給料機(jī)并計(jì)量后加入三氯氫硅合成爐。在三氯氫硅合成爐內(nèi),溫度控制在80—310℃,硅
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